అతి స్వచ్ఛమైన సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ సిస్టమ్‌ల కోసం అధునాతన IGS సర్ఫేస్ మౌంట్ C-సీల్ ఫిల్టర్లు
వివరణ
సెమీకండక్టర్ OEM టూల్స్‌లో ఉపయోగించే ఇంటిగ్రేటెడ్ గ్యాస్ సిస్టమ్‌ల యొక్క కఠినమైన అవసరాలను తీర్చడానికి హెంగ్కో సర్ఫేస్ మౌంట్ ఫిల్టర్లు రూపొందించబడ్డాయి. 0.003 µm వద్ద పరిశ్రమలోనే అగ్రగామి ఫిల్ట్రేషన్‌ను అందిస్తూ, ఈ ఫిల్టర్లు 120 slpm వద్ద ≥99.9999999% (9-LRV) పార్టికల్ ఇంటర్‌సెప్షన్ సామర్థ్యంతో అసాధారణమైన పనితీరును మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి.
ఫిల్టర్ ఎలిమెంట్ మరియు హౌసింగ్ కోసం పౌడర్ సింటరింగ్ చేయబడిన దృఢమైన 316L స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్‌తో నిర్మించబడిన ఈ ఫిల్టర్లు, SEMI F86-0304 స్పెసిఫికేషన్‌లకు అనుగుణంగా ఉంటాయి. ఇవి C-సీల్ కాన్ఫిగరేషన్‌తో 1.125” గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ సిస్టమ్‌ల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన టూ-పోర్ట్ కాంపోనెంట్‌లను కలిగి ఉంటాయి. ఇవి 100°C వద్ద గరిష్టంగా 3.4 MPa ఇన్లెట్ ప్రెజర్‌ను మరియు 100°C వద్ద గరిష్టంగా 0.69 MPa ఆపరేటింగ్ ప్రెజర్ డిఫరెన్షియల్‌ను సపోర్ట్ చేస్తాయి.
C-రకం మరియు W-రకం సీల్ స్పెసిఫికేషన్‌లు రెండింటికీ అనుకూలమైన ఈ ప్రత్యేక ఫిల్టర్లు, కణాలను విడుదల చేయడం ద్వారా డౌన్‌స్ట్రీమ్ శుభ్రతను సాధిస్తాయి.
Ra ఉపరితల ముగింపుతోబయట < 1.6 µm మరియు Raలోపలి భాగంలో < 0.13 µm మందంతో, ఇవి 460°C వరకు అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడ్డాయి. సులభమైన అనుసంధానం మరియు మాడ్యులర్ డిజైన్ అప్‌గ్రేడ్‌ల కోసం ఇంజనీరింగ్ చేయబడిన ఈ ఫిల్టర్లు, ఇన్‌స్టాలేషన్ మరియు నిర్వహణను సులభతరం చేస్తూ, సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ డెలివరీ మరియు నియంత్రణ అప్లికేషన్‌లలో సిస్టమ్ పనితీరును ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి సహాయపడతాయి.
ఉత్పత్తి ఫీచర్
▶ మొత్తం 316L స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ నిర్మాణం
▶ సూక్ష్మీకరించిన డిజైన్, కాంపాక్ట్ నిర్మాణం, స్థలాన్ని ఆదా చేస్తుంది
▶ అద్భుతమైన వాయువు భర్తీ మరియు విసర్జన లక్షణాలు
▶ అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం మరియు తుప్పు నిరోధకత
▶ ఎలక్ట్రో-పాలిష్డ్ 316L స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ హౌసింగ్
▶ సులభమైన మరియు సమర్థవంతమైన సంస్థాపన మరియు నిర్వహణ
▶ యాంత్రిక సీలింగ్, నిర్మాణాత్మకంగా మాధ్యమానికి వెల్డింగ్ చేయబడలేదు
డేటాషీట్
| సాంకేతిక పారామితులు | విలువలు |
|---|---|
| ఫిల్టర్ ఎలిమెంట్ మెటీరియల్ | 316L స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ సింటెర్డ్ పౌడర్ |
| గృహ నిర్మాణ సామగ్రి | 316L స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ |
| గరిష్ట ఇన్లెట్ పీడనం | 3.4 MPa @ 100°C |
| గరిష్ట ఆపరేటింగ్ డిఫరెన్షియల్ | 0.69 MPa @ 100°C |
| హీలియం ధృవీకరణ లీక్ రేటు | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| హీలియం పరీక్ష లీక్ రేటు | 1x10⁻⁹ cc/min |
| ఉపరితల చికిత్స | బాహ్య ఉపరితల రా< 1.6 μm |
| లోపలి ఉపరితల Ra< 0.13 μm | |
| గరిష్ట నిర్వహణ ఉష్ణోగ్రత | 460°C |
| కణ అంతరాయ సామర్థ్యం | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (రిఫరెన్స్ MPPS, అన్ని కణాలు) |
| దిగువన పరిశుభ్రత | కణ విడుదల:< 0.03 కణాలు/లీటరు (< 1 కణం/ఘన అడుగు) |
| అస్థిర పదార్థాలు:< 10 ppb తేమ | |
| కణ అంతరాయ పరిమాణం | ≥0.003 μm |
| ప్రవాహ పరిధి | 0 ~ 120 slpm |
పరిమాణం
మీరు ఆర్డర్ చేయగల పార్ట్ నంబర్ మరియు సైజు వివరాలు ఇక్కడ ఉన్నాయి:
| ఉత్పత్తి నమూనా | ప్రవాహ రేటు | ఎత్తు H (మి.మీ.) | వడపోత ఖచ్చితత్వం | శుభ్రపరిచే స్థాయి |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 ఎస్ఎల్పిఎం | 167.9 | 0.003 μm | C |
సాధారణ అనువర్తనాలు
W-సీల్ మరియు C-సీల్, 1.125” మరియు 1.5” సర్ఫేస్ మౌంట్ మాడ్యులర్ గ్యాస్ డెలివరీ సిస్టమ్‌లతో ఉపయోగించడానికి.
మీ సందేశాన్ని మాకు పంపండి:
