సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో గ్యాస్ ఫిల్టర్లను ఎందుకు ఉపయోగించాలి? 

అనేక క్లిష్టమైన కారణాల వల్ల సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో గ్యాస్ ఫిల్టర్లు అవసరం:

1. కాలుష్యం తొలగింపు

సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ అనేక సున్నితమైన ప్రక్రియలను కలిగి ఉంటుంది, ఇక్కడ అతి చిన్న కలుషితాలు కూడా,

దుమ్ము కణాలు, తేమ లేదా రసాయన అవశేషాలు వంటివి హానికరమైన ప్రభావాలను కలిగి ఉంటాయి. గ్యాస్ ఫిల్టర్లు తొలగించబడతాయి

ప్రక్రియ వాయువుల నుండి నలుసు పదార్థం, మలినాలు మరియు గాలిలో కలుషితాలు, పరిశుభ్రమైన వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది

మరియు సెమీకండక్టర్ పొరల సమగ్రతను కాపాడుకోవడం.

2. అల్ట్రా-ప్యూరిటీ ప్రమాణాలను నిర్వహించడం

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు ఉపయోగించే వాయువులలో చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛత అవసరం, మలినాలను కలిగి ఉంటుంది

సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో లోపాలకు దారి తీస్తుంది. గ్యాస్ ఫిల్టర్లు అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్యాస్ నాణ్యతను సాధించడంలో సహాయపడతాయి, నివారించడం

కాలుష్యం మరియు ఉత్పత్తుల యొక్క స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడం.

3. పరిరక్షించే పరికరాలు

వాయువులలోని కలుషితాలు సెమీకండక్టర్ పొరలకు హాని కలిగించడమే కాకుండా సెన్సిటివ్‌ను కూడా దెబ్బతీస్తాయి.

రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) రియాక్టర్లు వంటి తయారీ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే పరికరాలు మరియు

చెక్కడం వ్యవస్థలు. గ్యాస్ ఫిల్టర్లు ఈ ఖరీదైన యంత్రాలను నష్టం నుండి రక్షిస్తాయి, ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తాయి

పనికిరాని సమయం మరియు ఖరీదైన మరమ్మతులు.

4. దిగుబడి నష్టాన్ని నివారించడం

సెమీకండక్టర్ తయారీలో దిగుబడి కీలకం, ఇక్కడ లోపాలు ఉత్పత్తిలో గణనీయమైన నష్టాన్ని కలిగిస్తాయి.

ఒక కణం లేదా రసాయన అశుద్ధం కూడా దిగుబడి నష్టానికి దారి తీస్తుంది, ఉత్పాదకత మరియు లాభదాయకతను ప్రభావితం చేస్తుంది.

గ్యాస్ ఫిల్టర్లు ప్రక్రియ వాయువులు స్వచ్ఛమైనవని నిర్ధారిస్తాయి, కాలుష్యాన్ని తగ్గించి, దిగుబడి నష్టాన్ని తగ్గిస్తాయి.

5. ఉత్పత్తి నాణ్యతను నిర్ధారించడం

సెమీకండక్టర్ తయారీలో స్థిరత్వం మరియు నాణ్యత చాలా ముఖ్యమైనవి. కలుషితమైన వాయువులు సృష్టించవచ్చు

అసమానతలు, నమ్మదగని సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు దారి తీస్తుంది. గ్యాస్ ఫిల్టర్లను ఉపయోగించడం ద్వారా, తయారీదారులు చేయవచ్చు

ప్రతి బ్యాచ్ అవసరమైన కఠినమైన నాణ్యతా ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉంటుందని హామీ ఇస్తుంది, ఇది అధిక పరికరానికి దారి తీస్తుంది

పనితీరు మరియు దీర్ఘాయువు.

6. పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించడం

ప్రక్రియ వాయువులలోని కలుషితాలు పరికరాల వైఫల్యానికి కారణమవుతాయి, నిర్వహణ లేదా భర్తీ అవసరం.

గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లను ఉపయోగించడం ద్వారా, తయారీదారులు ఊహించని పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించవచ్చు, కార్యాచరణ సామర్థ్యాన్ని కొనసాగించవచ్చు మరియు

క్లిష్టమైన పరికరాల జీవితకాలం పొడిగించండి.

7. రసాయన అనుకూలత

సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే అనేక వాయువులు అధిక రియాక్టివ్ లేదా తినివేయు. గ్యాస్ ఫిల్టర్లు ఉన్నాయి

ప్రభావవంతంగా మలినాలను ఫిల్టర్ చేస్తూ, నిర్ధారిస్తూ ఈ కఠినమైన రసాయన వాతావరణాలను తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది

సురక్షితమైన మరియు సమర్థవంతమైన ప్రాసెసింగ్.

మొత్తంమీద, సెమీకండక్టర్ యొక్క స్వచ్ఛత, విశ్వసనీయత మరియు భద్రతను నిర్వహించడానికి గ్యాస్ ఫిల్టర్లు చాలా ముఖ్యమైనవి

తయారీ ప్రక్రియ, అధిక-నాణ్యత, లోపం లేని సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తులను సాధించడంలో సహాయపడుతుంది

విలువైన పరికరాలను కూడా రక్షిస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో గ్యాస్ ఫిల్టర్ల రకాలు

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, వివిధ రకాలైన గ్యాస్ ఫిల్టర్లను వివిధ పరిష్కరించడానికి ఉపయోగిస్తారు

గ్యాస్ స్వచ్ఛత మరియు పరికరాల రక్షణకు సంబంధించిన దశలు మరియు సవాళ్లు.

సాధారణంగా ఉపయోగించే గ్యాస్ ఫిల్టర్‌ల రకాలు:

1. పార్టిక్యులేట్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: ప్రక్రియ వాయువుల నుండి కణాలు, దుమ్ము మరియు ఇతర ఘన కలుషితాలను తొలగించడానికి.

* వినియోగం: కణ కాలుష్యం నుండి పొరలు, ప్రాసెస్ ఛాంబర్లు మరియు పరికరాలను రక్షించడానికి తరచుగా వివిధ దశలలో వ్యవస్థాపించబడుతుంది.

* పదార్థాలు: సాధారణంగా సింటర్డ్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్, PTFE లేదా మన్నిక మరియు రసాయన అనుకూలతను నిర్ధారించే ఇతర పదార్థాలతో తయారు చేస్తారు.

2. మాలిక్యులర్ లేదా కెమికల్ ఫిల్టర్‌లు (గెట్టర్ ఫిల్టర్‌లు)

* ప్రయోజనం: ప్రక్రియ వాయువులలో ఉండే తేమ, ఆక్సిజన్ లేదా కర్బన సమ్మేళనాలు వంటి నిర్దిష్ట పరమాణు కలుషితాలను తొలగించడానికి.

* వినియోగం: నిక్షేపణ లేదా ఎచింగ్ ప్రక్రియల వంటి అధిక స్వచ్ఛత వాయువు అవసరమైనప్పుడు ఉపయోగించబడుతుంది.

* పదార్థాలు: తరచుగా సక్రియం చేయబడిన బొగ్గు, జియోలైట్ లేదా పరమాణు మలినాలను ట్రాప్ చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన ఇతర యాడ్సోర్బెంట్ పదార్థాలను ఉపయోగించి నిర్మించారు.

3. అధిక స్వచ్ఛత గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ (UHP) గ్యాస్ ప్రమాణాలను సాధించడానికి, ఇది సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు కీలకం, ఇక్కడ స్వల్పంగా ఉన్న అశుద్ధత ఉత్పత్తి నాణ్యతను ప్రభావితం చేస్తుంది.

* వినియోగం: ఈ ఫిల్టర్‌లు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడతాయి, ఇక్కడ మలినాలు తీవ్రమైన లోపాలను కలిగిస్తాయి.

* పదార్థాలు: అధిక పీడనం మరియు తీవ్రమైన పరిస్థితులలో సమగ్రతను కాపాడుకోవడానికి ప్రత్యేకమైన పొరలతో స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్‌తో తయారు చేయబడింది.

4. బల్క్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: ఎంట్రీ పాయింట్ వద్ద లేదా తయారీ లైన్లకు పంపిణీకి ముందు వాయువులను శుద్ధి చేయడానికి.

* వినియోగం: వ్యక్తిగత ఉపకరణాలు లేదా రియాక్టర్‌లకు సరఫరా చేయడానికి ముందు గ్యాస్‌లను పెద్దమొత్తంలో ఫిల్టర్ చేయడానికి గ్యాస్ డెలివరీ సిస్టమ్‌లో అప్‌స్ట్రీమ్‌లో ఉంచబడింది.

* పదార్థాలు: ఈ ఫిల్టర్లు తరచుగా పెద్ద పరిమాణంలో వాయువులను నిర్వహించడానికి అధిక సామర్థ్యాన్ని కలిగి ఉంటాయి.

5. పాయింట్-ఆఫ్-యూజ్ (POU) గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు

* ప్రయోజనం: ప్రతి నిర్దిష్ట ప్రాసెసింగ్ సాధనానికి పంపిణీ చేయబడిన వాయువులు ఏవైనా కలుషితాలు లేకుండా ఉన్నాయని నిర్ధారించడానికి.

* వినియోగం: ఎచింగ్ లేదా డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌ల వంటి ప్రక్రియ పరికరాలకు వాయువులను ప్రవేశపెట్టే ముందు ఇన్‌స్టాల్ చేయబడింది.

* పదార్థాలు: సింటెర్డ్ మెటల్ లేదా PTFE వంటి సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే రియాక్టివ్ వాయువులకు అనుకూలమైన పదార్థాలతో తయారు చేయబడింది.

6. ఇన్లైన్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: పంపిణీ వ్యవస్థ ద్వారా కదిలే వాయువులకు ఇన్లైన్ వడపోత అందించడానికి.

* వినియోగం: సిస్టమ్ అంతటా కొనసాగుతున్న వడపోతను అందించడం ద్వారా కీలక పాయింట్ల వద్ద గ్యాస్ లైన్‌లలో ఇన్‌స్టాల్ చేయబడింది.

* పదార్థాలు: వాయువులతో రసాయన అనుకూలతను నిర్ధారించడానికి సింటెర్డ్ స్టెయిన్లెస్ స్టీల్ లేదా నికెల్.

7. ఉపరితల మౌంట్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: కణాలు మరియు పరమాణు కలుషితాలను తొలగించడానికి గ్యాస్ ప్యానెల్ భాగాలపై నేరుగా అమర్చబడుతుంది.

* వినియోగం: ఇరుకైన ప్రదేశాలలో సాధారణం, ఈ ఫిల్టర్‌లు క్లిష్టమైన అప్లికేషన్‌లలో సమర్థవంతమైన పాయింట్-ఆఫ్-యూజ్ వడపోతను అందిస్తాయి.

* పదార్థాలు: సెమీకండక్టర్ తయారీ వాయువులతో మన్నిక మరియు అనుకూలత కోసం అధిక స్వచ్ఛత స్టెయిన్లెస్ స్టీల్.

8. సబ్-మైక్రాన్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: చాలా చిన్న కణాలను ఫిల్టర్ చేయడానికి, తరచుగా ఉప-మైక్రాన్ పరిమాణాల వలె చిన్నవి, ఇది ఇప్పటికీ సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో గణనీయమైన లోపాలను కలిగిస్తుంది.

* వినియోగం: ఫోటోలిథోగ్రఫీ వంటి అల్ట్రా-ప్యూర్ గ్యాస్ సరఫరాను నిర్వహించడానికి అత్యధిక స్థాయి వడపోత అవసరమయ్యే ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది.

* పదార్థాలు: అతి చిన్న కణాలను కూడా ప్రభావవంతంగా బంధించగల అధిక సాంద్రత కలిగిన లోహం లేదా సిరామిక్ పదార్థాలు.

9. సక్రియం చేయబడిన కార్బన్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: సేంద్రీయ కలుషితాలు మరియు అస్థిర వాయువులను తొలగించడానికి.

* వినియోగం: పొర కాలుష్యం లేదా ప్రతిచర్య ఆటంకాలను నివారించడానికి వాయు మలినాలను తొలగించాల్సిన అనువర్తనాల్లో ఉపయోగించబడుతుంది.

* పదార్థాలు: సేంద్రీయ అణువులను శోషించడానికి రూపొందించబడిన ఉత్తేజిత కార్బన్ పదార్థాలు.

10.సింటెర్డ్ మెటల్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: అధిక పీడనానికి నిర్మాణ బలాన్ని మరియు ప్రతిఘటనను అందిస్తున్నప్పుడు కణాలు మరియు మలినాలను సమర్థవంతంగా తొలగించడం.

* వినియోగం: బలమైన వడపోత అవసరమైన సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ యొక్క బహుళ దశల్లో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

* పదార్థాలు: సాధారణంగా కఠినమైన వాతావరణాలు మరియు రసాయనాలను తట్టుకునేలా సింటర్డ్ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ లేదా ఇతర లోహ మిశ్రమాలతో తయారు చేస్తారు.

11.హైడ్రోఫోబిక్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు

* ప్రయోజనం: తేమ లేదా నీటి ఆవిరిని గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌లోకి ప్రవేశించకుండా నిరోధించడానికి, ఇది తేమను గుర్తించడానికి కూడా సున్నితంగా ఉండే నిర్దిష్ట ప్రక్రియలలో కీలకం.

* వినియోగం: తరచుగా పొర ఎండబెట్టడం లేదా ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి ప్రక్రియలలో ఉపయోగిస్తారు.

* పదార్థాలు: వాయువులు తేమ కాలుష్యం లేకుండా ఉండేలా PTFE వంటి హైడ్రోఫోబిక్ పొరలు.

ఈ వివిధ రకాలైన గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు వాటి నిర్దిష్ట లక్షణాలు, మెటీరియల్ అనుకూలత మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల యొక్క ప్రత్యేక పరిస్థితులకు అనుకూలత ఆధారంగా జాగ్రత్తగా ఎంపిక చేయబడతాయి. గ్యాస్ స్వచ్ఛత యొక్క అత్యధిక స్థాయిని నిర్వహించడానికి, ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి మరియు సెమీకండక్టర్ పరికరాల్లో లోపాలను నివారించడానికి ఫిల్టర్‌ల సరైన కలయిక అవసరం.

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్‌ల గురించి కొన్ని తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు 1:

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు అంటే ఏమిటి మరియు అవి ఎందుకు ముఖ్యమైనవి?

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్లు సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో కీలకమైన భాగాలు.

ప్రాసెస్ వాయువుల నుండి మలినాలను మరియు కలుషితాలను తొలగించడానికి అవి రూపొందించబడ్డాయిఆక్సిజన్,

నైట్రోజన్, హైడ్రోజన్ మరియు వివిధ రసాయన వాయువులు.

ఈ మలినాలు సెమీకండక్టర్ పరికరాల నాణ్యత, దిగుబడి మరియు విశ్వసనీయతను గణనీయంగా ప్రభావితం చేస్తాయి.

గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌లను సమర్థవంతంగా ఫిల్టర్ చేయడం ద్వారా, సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు దీనికి సహాయపడతాయి:

1. అధిక స్వచ్ఛతను నిర్వహించండి:

తయారీ ప్రక్రియలో ఉపయోగించే వాయువులు పరికర పనితీరును క్షీణింపజేసే కలుషితాలు లేకుండా ఉన్నాయని నిర్ధారించుకోండి.

2.పరికరాల నష్టాన్ని నిరోధించండి:

కణ మరియు రసాయన కాలుష్యం నుండి సున్నితమైన సెమీకండక్టర్ పరికరాలను రక్షించండి, ఇది ఖరీదైన పనికిరాని సమయం మరియు మరమ్మతులకు దారితీస్తుంది.

3. ఉత్పత్తి దిగుబడిని మెరుగుపరచండి:

గ్యాస్ ద్వారా వచ్చే మలినాలతో ఏర్పడే లోపాలు మరియు వైఫల్యాలను తగ్గించండి, ఫలితంగా అధిక ఉత్పత్తి దిగుబడి వస్తుంది.

4.పరికర విశ్వసనీయతను మెరుగుపరచండి:

కాలుష్యం-సంబంధిత సమస్యల కారణంగా సెమీకండక్టర్ పరికరాల దీర్ఘకాలిక క్షీణతను తగ్గించండి.

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు 2:

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్ల యొక్క సాధారణ రకాలు ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో అనేక రకాల గ్యాస్ ఫిల్టర్లు ఉపయోగించబడతాయి, ప్రతి ఒక్కటి తొలగించడానికి రూపొందించబడింది

నిర్దిష్ట రకాల కలుషితాలు.

అత్యంత సాధారణ రకాలు:

1.పర్టిక్యులేట్ ఫిల్టర్లు:

ఈ ఫిల్టర్‌లు గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌ల నుండి దుమ్ము, ఫైబర్‌లు మరియు లోహ కణాలు వంటి ఘన కణాలను తొలగిస్తాయి.

అవి సాధారణంగా సింటెర్డ్ మెటల్, సిరామిక్ లేదా మెమ్బ్రేన్ ఫిల్టర్‌ల వంటి పదార్థాలతో తయారు చేయబడతాయి.

2.కెమికల్ ఫిల్టర్లు:

ఈ ఫిల్టర్‌లు నీటి ఆవిరి, హైడ్రోకార్బన్‌లు మరియు తినివేయు వాయువుల వంటి రసాయన మలినాలను తొలగిస్తాయి.

అవి తరచుగా శోషణం లేదా శోషణ సూత్రాలపై ఆధారపడి ఉంటాయి, ఉత్తేజిత కార్బన్ వంటి పదార్థాలను ఉపయోగిస్తాయి,

పరమాణు జల్లెడలు, లేదా రసాయన సోర్బెంట్లు.

3.కాంబినేషన్ ఫిల్టర్‌లు:

ఈ ఫిల్టర్‌లు రెండు రకాలను తొలగించడానికి పర్టిక్యులేట్ మరియు కెమికల్ ఫిల్టర్‌ల సామర్థ్యాలను మిళితం చేస్తాయి

కలుషితాలు. అధిక స్వచ్ఛత అవసరమయ్యే క్లిష్టమైన అనువర్తనాల్లో ఇవి తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి.

తరచుగా అడిగే ప్రశ్నలు 3:

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు ఎలా ఎంపిక చేయబడ్డాయి మరియు రూపొందించబడ్డాయి?

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్‌ల ఎంపిక మరియు రూపకల్పన అనేక అంశాలను కలిగి ఉంటుంది, వాటిలో:

* గ్యాస్ స్వచ్ఛత అవసరాలు:

నిర్దిష్ట గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌కు కావలసిన స్వచ్ఛత స్థాయి ఫిల్టర్ యొక్క వడపోత సామర్థ్యం మరియు సామర్థ్యాన్ని నిర్ణయిస్తుంది.

* ప్రవాహం రేటు మరియు ఒత్తిడి:

ఫిల్టర్ చేయాల్సిన గ్యాస్ వాల్యూమ్ మరియు ఆపరేటింగ్ ప్రెజర్ ఫిల్టర్ పరిమాణం, మెటీరియల్ మరియు కాన్ఫిగరేషన్‌ను ప్రభావితం చేస్తాయి.

* కాలుష్య రకం మరియు ఏకాగ్రత:

గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌లో ఉండే నిర్దిష్ట రకాల కలుషితాలు ఫిల్టర్ మీడియా ఎంపిక మరియు దాని రంధ్రాల పరిమాణాన్ని నిర్దేశిస్తాయి.

*ఉష్ణోగ్రత మరియు తేమ:

ఆపరేటింగ్ పరిస్థితులు ఫిల్టర్ పనితీరు మరియు జీవితకాలాన్ని ప్రభావితం చేయవచ్చు.

* ఖర్చు మరియు నిర్వహణ:

ఫిల్టర్ యొక్క ప్రారంభ ధర మరియు దాని కొనసాగుతున్న నిర్వహణ అవసరాలు పరిగణనలోకి తీసుకోవాలి.

ఈ అంశాలను జాగ్రత్తగా పరిశీలించడం ద్వారా, ఇంజనీర్లు నిర్దిష్ట అవసరాలకు అనుగుణంగా గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లను ఎంచుకోవచ్చు మరియు డిజైన్ చేయవచ్చు

సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ యొక్క అవసరాలు.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లను ఎంత తరచుగా భర్తీ చేయాలి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో గ్యాస్ ఫిల్టర్ల రీప్లేస్‌మెంట్ ఫ్రీక్వెన్సీ రకంతో సహా అనేక అంశాలపై ఆధారపడి ఉంటుంది.

ప్రక్రియ, కలుషితాల స్థాయి మరియు ఉపయోగించబడుతున్న నిర్దిష్ట రకం ఫిల్టర్. సాధారణంగా, గ్యాస్ ఫిల్టర్లు రెగ్యులర్‌లో భర్తీ చేయబడతాయి

కాలుష్యం యొక్క ఏదైనా ప్రమాదాన్ని నివారించడానికి నిర్వహణ షెడ్యూల్,తరచుగా ప్రతి 6 నుండి 12 నెలలకు, వినియోగ పరిస్థితులపై ఆధారపడి ఉంటుంది

మరియు ఫిల్టర్ తయారీదారు నుండి సిఫార్సులు.

అయినప్పటికీ, ఆపరేటింగ్ వాతావరణం ఆధారంగా భర్తీ షెడ్యూల్‌లు విస్తృతంగా మారవచ్చు. ఉదాహరణకు:

*అధిక కాలుష్య ప్రక్రియలు:

ఫిల్టర్‌లు అధిక స్థాయిలకు గురైతే వాటిని తరచుగా భర్తీ చేయాల్సి ఉంటుంది

నలుసు లేదా పరమాణు కాలుష్యం.

* క్లిష్టమైన అప్లికేషన్లు:

చాలా ఎక్కువ స్వచ్ఛతను కోరే ప్రక్రియలలో (ఉదా, ఫోటోలిథోగ్రఫీ), ఫిల్టర్‌లు తరచుగా భర్తీ చేయబడతాయి

ముందస్తుగా గ్యాస్ నాణ్యత రాజీ పడకుండా చూసుకోవాలి.

ఫిల్టర్‌లో అవకలన ఒత్తిడిని పర్యవేక్షించడం అనేది ఫిల్టర్‌ను ఎప్పుడు భర్తీ చేయాలో నిర్ణయించడానికి ఒక సాధారణ పద్ధతి.

కలుషితాలు పేరుకుపోవడంతో, ఫిల్టర్ అంతటా ఒత్తిడి తగ్గుదల పెరుగుతుంది, ఇది సామర్థ్యంలో తగ్గింపును సూచిస్తుంది.

ఫిల్టర్‌ల సామర్థ్యం క్షీణించే ముందు వాటిని భర్తీ చేయడం చాలా ముఖ్యం, ఎందుకంటే గ్యాస్ స్వచ్ఛతలో ఏదైనా ఉల్లంఘన గణనీయమైన లోపాలను కలిగిస్తుంది,

దిగుబడిని తగ్గిస్తుంది మరియు పరికరాల నష్టానికి కూడా దారి తీస్తుంది.

సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్‌ల కోసం గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు ఏ మెటీరియల్‌లతో తయారు చేయబడ్డాయి?

సెమీకండక్టర్ అప్లికేషన్లలో ఉపయోగించే గ్యాస్ ఫిల్టర్లు అత్యధిక స్వచ్ఛత ప్రమాణాలను నిర్వహించగల పదార్థాల నుండి తయారు చేయబడతాయి

మరియు తయారీలో కనిపించే కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకోగలవు. సాధారణ పదార్థాలు ఉన్నాయి:

*స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ (316L): దాని రసాయన ప్రతిఘటన, యాంత్రిక బలం, మరియు కారణంగా అత్యంత విస్తృతంగా ఉపయోగించే పదార్థం

సింటరింగ్ టెక్నాలజీని ఉపయోగించి ఖచ్చితమైన రంధ్ర పరిమాణాలతో తయారు చేయగల సామర్థ్యం. ఇది రియాక్టివ్ రెండింటినీ ఫిల్టర్ చేయడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది

మరియు జడ వాయువులు.

*PTFE (పాలిటెట్రాఫ్లోరోఎథిలిన్): PTFE అనేది అత్యంత రియాక్టివ్ లేదా తినివేయు వడపోత కోసం ఉపయోగించే రసాయనికంగా జడ పదార్థం

వాయువులు. ఇది అద్భుతమైన రసాయన అనుకూలత మరియు హైడ్రోఫోబిక్ లక్షణాలను కలిగి ఉంది, ఇది తేమ-సెన్సిటివ్‌కు అనువైనదిగా చేస్తుంది

ప్రక్రియలు.

* నికెల్ మరియు హాస్టెల్లాయ్:

ఈ పదార్థాలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత అనువర్తనాల కోసం లేదా దూకుడు రసాయనాలతో కూడిన ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగించబడతాయి

అక్కడ స్టెయిన్‌లెస్ స్టీల్ క్షీణించవచ్చు.

* సిరామిక్:

సిరామిక్ ఫిల్టర్‌లు తీవ్రమైన ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత అవసరమయ్యే అప్లికేషన్‌ల కోసం లేదా సబ్-మైక్రాన్ కోసం ఉపయోగించబడతాయి

కణాల వడపోత.

పదార్థం యొక్క ఎంపిక గ్యాస్ రకం, రియాక్టివ్ జాతుల ఉనికి, ఉష్ణోగ్రత మరియు

ఇతర ప్రక్రియ పారామితులు. పదార్థాలు ఎటువంటి మలినాలను పరిచయం చేయవని నిర్ధారించుకోవడానికి అవి ప్రతిస్పందించకుండా ఉండాలి

లేదా ప్రక్రియలోకి కణాలు, తద్వారా సెమీకండక్టర్ తయారీకి అవసరమైన గ్యాస్ స్వచ్ఛత స్థాయిలను నిర్వహించడం.

సెమీకండక్టర్ తయారీలో పాయింట్-ఆఫ్-యూజ్ (POU) ఫిల్టర్‌ల పాత్ర ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ తయారీలో పాయింట్-ఆఫ్-యూజ్ (POU) ఫిల్టర్‌లు చాలా అవసరం, ఎందుకంటే అవి వాయువులను వెంటనే శుద్ధి చేసేలా చూస్తాయి.

ప్రక్రియ సాధనాలను నమోదు చేయడం. ఈ ఫిల్టర్‌లు గ్యాస్ స్ట్రీమ్‌లోకి ప్రవేశించిన కలుషితాలకు వ్యతిరేకంగా తుది రక్షణను అందిస్తాయి

నిల్వ, రవాణా లేదా పంపిణీ సమయంలో, తద్వారా ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

POU ఫిల్టర్‌ల యొక్క ముఖ్య ప్రయోజనాలు:

*పొరలోకి కాలుష్యం చేరకుండా నిరోధించడానికి క్లిష్టమైన పరికరాలకు (ఉదా, ఎచింగ్ లేదా డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌లు) దగ్గరగా ఉంచారు.

*గ్యాస్ హ్యాండ్లింగ్ సిస్టమ్ లేదా ఎన్విరాన్‌మెంటల్ ఎక్స్‌పోజర్ ద్వారా ప్రవేశపెట్టబడే పార్టికల్ మరియు మాలిక్యులర్ మలినాలను తొలగించండి.

*ప్రాసెస్ సాధనం, పరికరాలను రక్షించడం మరియు తయారు చేసిన పరికరాల నాణ్యతను పెంపొందించడం ద్వారా సాధ్యమయ్యే అత్యధిక గ్యాస్ నాణ్యతను అందించినట్లు నిర్ధారించుకోండి.

* ప్రక్రియ వేరియబిలిటీని తగ్గించండి, దిగుబడిని పెంచండి మరియు లోపం స్థాయిలను తగ్గించండి.

*చిన్న మలినాలు కూడా ఉత్పాదకత మరియు ఉత్పత్తి విశ్వసనీయతను గణనీయంగా ప్రభావితం చేసే అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరిసరాలలో ఎంతో అవసరం.

గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో పరికరాలు పనికిరాకుండా ఎలా నిరోధిస్తాయి?

గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లు సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో పరికరాల పనికిరాని సమయాన్ని నివారిస్తాయి, ప్రక్రియ వాయువులు స్థిరంగా లేకుండా ఉండేలా చూస్తాయి

తయారీ సామగ్రికి నష్టం కలిగించే కలుషితాలు. సెమీకండక్టర్ తయారీలో అధిక వినియోగం ఉంటుంది

డిపాజిషన్ ఛాంబర్‌లు, ప్లాస్మా ఎచింగ్ మెషీన్‌లు మరియు ఫోటోలిథోగ్రఫీ సిస్టమ్‌లతో సహా సున్నితమైన పరికరాలు.

దుమ్ము, తేమ లేదా రియాక్టివ్ మలినాలు వంటి కలుషితాలు ఈ యంత్రాలలోకి ప్రవేశిస్తే, అవి అనేక రకాల సమస్యలను కలిగిస్తాయి,

అడ్డుపడే కవాటాలు మరియు నాజిల్‌ల నుండి పొర ఉపరితలాలు లేదా రియాక్టర్ లోపలి భాగాలను దెబ్బతీయడం వరకు.

అధిక-నాణ్యత గ్యాస్ ఫిల్టర్‌లను ఉపయోగించడం ద్వారా, తయారీదారులు ఈ కలుషితాలను ప్రవేశపెట్టడాన్ని నిరోధిస్తారు, దీని వలన సంభావ్యతను తగ్గిస్తుంది

ప్రణాళిక లేని నిర్వహణ మరియు పరికరాలు విచ్ఛిన్నం. ఇది స్థిరమైన ఉత్పత్తి షెడ్యూల్‌లను నిర్వహించడానికి, తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది

ఖరీదైన పనికిరాని సమయం, మరియు మరమ్మతులు లేదా భర్తీకి సంబంధించిన ముఖ్యమైన ఖర్చులను నివారించడం.

అదనంగా, బాగా నిర్వహించబడే ఫిల్టర్‌లు ఫ్లో కంట్రోలర్‌లు, వాల్వ్‌లు మరియు రియాక్టర్‌లు వంటి కీలక భాగాల జీవితకాలాన్ని పొడిగించడంలో సహాయపడతాయి.

తద్వారా తయారీ ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం సామర్థ్యం మరియు లాభదాయకతను పెంచుతుంది.

కాబట్టి సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్‌ల గురించి కొన్ని వివరాలను తనిఖీ చేసిన తర్వాత, మీకు ఇంకా కొన్ని ప్రశ్నలు ఉంటే.

అధిక-నాణ్యత గ్యాస్ వడపోత పరిష్కారాలతో మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి సిద్ధంగా ఉన్నారా?

మీ అవసరాలను తీర్చడానికి నిపుణుల మార్గదర్శకత్వం మరియు అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాల కోసం ఈరోజే HENGKOని సంప్రదించండి.

సెమీకండక్టర్ గ్యాస్ ఫిల్టర్ గురించి కొన్ని వివరాల సమాచారాన్ని తనిఖీ చేసిన తర్వాత, మీకు మరిన్ని ప్రశ్నలు వస్తే ?

అధిక-నాణ్యత గ్యాస్ వడపోత పరిష్కారాలతో మీ సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియను ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి సిద్ధంగా ఉన్నారా?

మీ అవసరాలను తీర్చడానికి నిపుణుల మార్గదర్శకత్వం మరియు అనుకూలీకరించిన పరిష్కారాల కోసం ఈరోజే HENGKOని సంప్రదించండి.

వద్ద మాకు ఇమెయిల్ చేయండిka@hengko.comమరింత సమాచారం కోసం.

మీ ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మరియు ఉత్పత్తి నాణ్యతను మెరుగుపరచడంలో మీకు సహాయం చేయడానికి మా బృందం ఇక్కడ ఉంది.